離線磁控濺射鍍膜玻璃可分為陽光控制鍍膜玻璃和低輻射鍍膜玻璃兩大類,。兩大類產(chǎn)品在實際生產(chǎn)過程中,，其不同缺陷比例各不相同,，由于低輻射鍍膜玻璃的缺陷種類更多,，且涉及范圍更廣,，其中包括了大部分陽光控制鍍膜玻璃的所列缺陷,，故下文在兩種膜缺陷相近的情況下只在低輻射鍍膜玻璃闡述其缺陷及處理方法,，而陽光控制鍍膜玻璃類似的質(zhì)量缺陷不再贅述,。

2 低輻射鍍膜玻璃的缺陷與分析
    低輻射鍍膜玻璃又稱“ Low-E玻璃”,，作為磁控濺射鍍膜玻璃的一種，離線“ Low-E”與陽光膜不同,，大多數(shù)都屬于軟膜,，故其缺陷是可能伴隨著生產(chǎn)、鍍膜后加工以及運輸?shù)恼麄€過程中,，需要根據(jù)具體情況進行判斷,。

2.1 針孔、斑點缺陷及成因
    針孔：從鍍膜玻璃透射方向看,，相對于整體出現(xiàn)部分透明或半透明,，沒有完整附著膜層的點狀缺陷。斑點：從鍍膜玻璃的透射方向看,，相對膜層整體色澤較暗的點狀缺陷,。

2.1.1 原片新鮮度不夠
    由于玻璃原片存放時間長或者儲存條件惡劣，使浮法玻璃表面污染嚴重,，雖然在鍍膜前經(jīng)過去離子水清洗,，但仍無法徹底清除表面污染區(qū)，鍍膜時就會出現(xiàn)膜層結(jié)構(gòu)不牢的情況,。針對這種情況,，要采用新鮮的玻璃原片，另外,，保鮮期與季節(jié),、儲存環(huán)境還有很大關(guān)系。因此,，針對不同廠家,，不同季節(jié)對原片會有不同的要求，需各鍍膜廠家自行把握,，一般情況下30天內(nèi)為宜,。

2.1.2 清洗機清洗能力下降
    清洗是鍍膜之前的最重要環(huán)節(jié)，清洗機的狀態(tài)直接影響著鍍膜產(chǎn)品的表面質(zhì)量,。一旦清洗機的清洗能力不夠,，玻璃表面的殘留雜質(zhì)將形成點狀或塊狀缺陷,。造成清洗機清洗質(zhì)量下降的原因包括：水受到污染（油污、雜質(zhì),、微生物等）,，導致無法洗干凈；風機過濾裝置,、水的過濾裝置太臟或故障導致過濾失效,；水溫、水壓未達到要求,；清洗機高度不夠準確或者清洗速度過快,。針對這種情況需要視生產(chǎn)的產(chǎn)品狀況定期對清洗機進行維護保養(yǎng)，使其處于最佳狀態(tài),，另外每天的小保養(yǎng)和巡檢也不能忽視,。

2.1.3 掉渣、崩渣
    掉渣和崩渣,，這也是形成針孔的一個原因,。而導致崩渣、掉渣的原因又分為幾種,，首先在鍍膜生產(chǎn)過程中并非始終單一生產(chǎn)一個品種,，在不同的產(chǎn)品間變換時，所使用的靶材不同或同材料會使用不同的功率,，由于蓋板,、擋板、底板均為金屬,，均有一定的熱脹冷縮,，當其熱脹冷縮時覆蓋在其表面的濺射物的膨脹系數(shù)與金屬不同，故形成龜裂,、崩開,，掉落到玻璃表面形成針孔、斑點,。針對這種情況一般做法是在換靶材時對裝進真空腔體前的蓋板,、底板進行徹底的噴砂處理，噴砂以噴出新鮮斷面為好,。另外一種做法就是在這些關(guān)鍵的部件表面進行特殊處理,，使其能夠阻擋濺射物輕易脫落或彈開。其次,，除了靶材本身質(zhì)量問題外,，部分含Zn材質(zhì)的靶材（如ZnAl、ZnSn）在使用一段時間后會出現(xiàn)周期性掉小渣現(xiàn)象，這種現(xiàn)象很難避免,，需要對其進行常規(guī)的燒靶來解決,。同時陰極蓋板的漏氣也會導致靶材的掉渣，所以,，靶材周圍的氣密性需要在換靶前后格外注意,。

2.2 脫膜缺陷及成因
    脫膜：產(chǎn)品表面膜層脫落，經(jīng)擦拭后出現(xiàn)點狀或者片狀的局部的透光增強,。

2.2.1 基片受到污染
    基片在即將鍍膜時受到污染（油污,、水）,，導致污染區(qū)域與膜層之間附著力不強,，鍍膜后經(jīng)過擦拭或清洗污染物脫落導致脫膜。對此應(yīng)加強對鍍膜前的產(chǎn)品和設(shè)備進行巡檢,，減少意外情況的出現(xiàn),。

2.2.2 腔體真空度不夠
    對于磁控濺射鍍膜玻璃，需在高真空環(huán)境下進行,，濺射室本底真空需達到10-6mbar才能更有效地鍍膜,。若真空度不夠時，勉強鍍膜會出現(xiàn)批量性的膜層結(jié)合不牢,，用酒精擦洗時會出現(xiàn)大量塊狀透光區(qū),。針對這種情況，要求第一時間查看真空度,，如果本底真空度異常則要馬上進行檢漏,，并對漏點進行堵塞。只有提高濺射室內(nèi)的本底真空度,，并達到要求的情況下才能進行鍍膜,。

2.2.3 Ag與SiNx的結(jié)合
    由于Ag與SiNx的附著力不強，會導致產(chǎn)品擦拭嚴重脫膜以及中空洗刷會整板氧化,。因此,，Ag層前后的介質(zhì)層不能用SiNx直接替代，需要NiCr等必要材料進行保護,。

2.2.4 膜層氧化
    膜層氧化是造成脫膜的又一主要因素,，而導致氧化的原因可以分為以下幾種：
    首先，Ag的保護層太薄造成氧化,，此現(xiàn)象容易出現(xiàn)在高透膜系,。對于此類膜系，可采取外保護層適當加厚,，并且在生產(chǎn)過程中不允許減薄保護層,，以及在產(chǎn)品表面貼新鮮的保護膜方法處理。
    其次，陰極之間隔離系數(shù)不合格,，外部金屬保護層被氧化,。例如，當隔系數(shù)小于20時,，若有氧氣竄入,，會影響到NiCr靶的濺射率及氧氣會與NiCr金屬離子產(chǎn)生反應(yīng)，生成氧化鎳鉻,，NiCr保護層在真空室內(nèi)已經(jīng)被氧化,。對此可采取提高NiCr靶的濺射壓力，增加氣體流量,、與其靶相鄰的氧化物,，在氣體比例不變的情況下，減少整體的氣體流量,、增加NiCr的功率,、在陰極位之間加Ar氣形成氣墻，減少氣體之間串氣,、增加陰極位之間的隔氣能力（增加擋板或分子泵）,。
    最后，是在存放,、后續(xù)加工過程中的不當處理導致氧化,。生產(chǎn)時空氣濕度太大，空氣中含水量過高,。在國內(nèi)每年的5-10月份是鍍膜玻璃易氧化的時期,，尤其是雨天。針對這種情況,，一方面在鍍膜下片打包時要加入足夠量的干燥劑密封嚴實,，必要時充入氮氣來保護。另一方面,，要盡可能地縮短等待中空生產(chǎn)的時間,。
    鍍膜下片時手套上汗水粘到玻璃上。由于人出汗時,，汗水中含有大量的硫化物,，會與鍍膜玻璃中的銀發(fā)生反應(yīng)，生成黑色的硫化銀,，從而形成氧化層,。經(jīng)過實驗，因汗水粘過的鍍膜玻璃最短在一小時內(nèi)會氧化,。因此,，一方面保持手套干燥，另一方面汗水觸摸過的鍍膜玻璃要立即清洗，并盡快合成中空玻璃,。
    中空玻璃處理不當,。由于中空玻璃處理不當，如漏氣,、漏分子篩等等都可能會引起合好中空后的鍍膜玻璃被氧化,，尤其是丁基膠不飽滿和漏分子篩對其都是致命威脅。因此,，如何提高中空玻璃質(zhì)量是避免鍍膜玻璃后期批量氧化的一個關(guān)鍵因素,。

2.3 斑紋缺陷及成因
    斑紋：從鍍膜玻璃的反射方向看，膜層表面色澤發(fā)生變化的云狀,、放射狀或條紋狀的缺陷,，一般呈現(xiàn)暗灰色，若產(chǎn)品經(jīng)過鋼化則無法清洗掉,。部分缺陷鍍膜后肉眼可看出與其它部分存在顏色差異,，有的在玻璃面暗光或膜面強光下清晰可見,。

2.3.1 云狀斑紋
    主要是由于原片新鮮度不夠,，Na+外滲，也就是通常所說的發(fā)霉,。經(jīng)過鋼化處理無法徹底清除,，故形成云霧狀斑紋。其解決方法除了確保使用新鮮原片外,，可采用拋光粉進行拋光處理,，再進行鍍膜，可以通過提高玻璃與膜層的結(jié)合力從而減少斑紋的產(chǎn)生,。當然原片存放時間過長,，使用拋光粉也是無效的。

2.3.2 放射狀斑紋
    放射狀斑紋,，主要是由于清洗機問題,，如風刀未吹干凈，進行鍍膜時會出現(xiàn)放射狀斑紋,。其解決方法為檢查風壓及風刀角度,，并保證風刀內(nèi)無異物。同時檢查純水電阻率,、水壓,、水量是否達到要求。輥道是否處于同一水平面狀態(tài),，毛刷的干涉量是否正常,。

2.3.3 條紋狀斑紋
    條紋狀斑紋，有的是由于鍍膜設(shè)備內(nèi)局部氣壓發(fā)生變化引起的，有的是部分陰極與腔體之間絕緣性差放電導致,，多出現(xiàn)于較厚的產(chǎn)品,。只有依靠各生產(chǎn)廠家自己的經(jīng)驗及對相關(guān)設(shè)備進行逐點排查，排除后方可正常生產(chǎn),。

2.4 暗道缺陷及成因
    暗道：從鍍膜玻璃的反射方向看,，膜層表面亮度或反射色異于整體的條狀區(qū)域，可見程度取決于它們和周圍膜層的厚度差異,。

2.4.1 設(shè)備,、材料原因
    暗道的產(chǎn)生絕大部分是由于鍍膜時其中一個或多個陰極產(chǎn)生電弧或跳閘引起。避免暗道,，首先保證電源正常工作,，其次保證靶材的質(zhì)量和表面光潔度來減少電弧，這樣暗道就能大量減少,。

2.4.2 傳動問題
    傳動問題包括在生產(chǎn)中傳動停止或速度不一致,，導致鍍出的膜層厚度明顯不均，可能是設(shè)備原因也可能是人為操作失誤,。應(yīng)避免主觀失誤,，同時定期檢查傳動有無異常。

2.4.3 均勻性原因
    均勻性太差導致某一層或某幾層膜疊加后出現(xiàn)膜厚不均而產(chǎn)生條狀色差,，需要根據(jù)反射差異具體分析,，一般需要對某一層膜的整體均勻性進行調(diào)節(jié)，必要時對影響這一層的陰極磁場均勻性進行調(diào)整,，最終使每一膜層膜的膜厚達到均勻,。

2.5 色差缺陷及成因
    色差：從反射或透過方向觀察，顏色同標準樣片或批次產(chǎn)品比較,，用肉眼可觀察到的差異,。一般情況下在同一種產(chǎn)品中，片與片之間對比產(chǎn)生的差異,。分為正面反射色差,、側(cè)面反射色差、透過色色差和邊緣效應(yīng),。

2.5.1 正面反射色差
    正面觀察顏色差異產(chǎn)生的原因主要有兩個方面,，一方面為設(shè)備的不穩(wěn)定或故障導致生產(chǎn)過程中氣氛、濺射效率發(fā)生變化導致,，另一方面為人為失誤導致,，如工藝水平差、調(diào)試不合理,、顏色標準不統(tǒng)一,、著色玻璃放反或基片差異等原因,。需要具體分析，針對性解決,。

2.5.2 側(cè)面反射色差
    側(cè)面顏色差異大多出現(xiàn)在雙銀和三銀產(chǎn)品中,，一般表現(xiàn)為正面對比觀察顏色合格，而當觀察者與產(chǎn)品成一定角度（如45°）對比觀察則出現(xiàn)反射顏色不同,。由于雙銀或三銀產(chǎn)品,，包括4層以上的金屬層（Ag/NiGr），在二者中間有較厚的介質(zhì)層（ZnSn,、SiNx）,，光在這種膜層結(jié)構(gòu)中傳播所發(fā)生的反射、折射較多,，再加之總體膜層厚度較厚,，極易使光在產(chǎn)品表面發(fā)生干涉，致使在不同角度光的干涉量不同,，因此就呈現(xiàn)出不同的顏色（干涉色）,。金屬層與介質(zhì)層的比例決定著干涉色的整體變化趨勢,，故在各批次生產(chǎn)中必須保證各個膜層的厚度一致,，且膜厚均勻性差異較小,，否則即使是同一批次生產(chǎn)也會出現(xiàn)片與片之間側(cè)面顏色不同，甚至是同一片產(chǎn)品左右差異,。對此在基片相同的情況下要嚴格按照標準光譜進行調(diào)試和生產(chǎn)（光譜對顏色和干涉色的控制具有唯一性）,，同時要會根據(jù)各點光譜判斷膜層厚度是否達標,。另外對于可鋼化產(chǎn)品受到鋼化溫度和加熱時間的影響也會造成批次間干涉色不同,，因此對于可鋼化產(chǎn)品需要經(jīng)過實驗來具體驗證，有針對性的解決,。

2.5.3 透過色色差
    一般情況下主要是基片差異,、真空環(huán)境差異和人為調(diào)試不到位產(chǎn)生，應(yīng)加強對基片的監(jiān)測,、嚴格遵守工藝制度,、提高工藝水平。避免主觀判斷失誤造成的損失,。

2.5.4 邊緣效應(yīng)
    在鍍膜產(chǎn)品四周或兩邊邊部100mm范圍內(nèi)出現(xiàn)與中部顏色差異的情況,，多出現(xiàn)在雙銀、三銀產(chǎn)品中,，受產(chǎn)品擺放寬度,、陰極使用功率等影響，對此適當降低各陰極功率和提高擺放寬度,，同時保持擺放寬度差距不能太大,，能夠降低邊緣效應(yīng)的色差,。

2.6 白點、燒邊,、掉膜缺陷及成因
    表現(xiàn)為膜面白斑透光,，有的有凹凸感，四周邊部發(fā)黃,，刷洗后掉膜,，出現(xiàn)于可鋼化大板的鋼化過程中。
    此種缺陷的出現(xiàn)絕大部分受鍍膜腔體真空度,、玻璃基片不新鮮,、產(chǎn)品底層膜厚不夠及鋼化的溫度過高影響。另外要注意的是鍍膜玻璃的鋼化實驗不是一次成型,，必要時需多做兩次實驗才具有實際意義,。

2.7 劃傷、壓傷缺陷及成因
    鍍膜玻璃表面被硬物剮蹭,、刻畫或產(chǎn)品之間相互摩擦,、碰撞所留下的線狀、點狀痕跡,，用手摸有粗糙或溝壑感,，表現(xiàn)為透光率增高或膜層被破壞?？梢姵潭热Q于它們的長度,、寬度、大小,、位置和分布,。

2.7.1 劃傷
    劃傷的缺陷大多出現(xiàn)在鍍膜前和鍍膜中，很少一部分是在鍍膜后的運輸中,，由于隔離和固定措施較差導致產(chǎn)品相互間摩擦產(chǎn)生劃傷,。而鍍膜前的劃傷多為不規(guī)則狀，大多為上道工序所帶,，如上下片,、轉(zhuǎn)運、自爆等,。只有依靠提高操作人員的主觀能動性,，采取措施來積極預(yù)防。鍍膜中的劃傷基本上是由設(shè)備造成的,，呈現(xiàn)規(guī)則形狀,，一般是平行于傳動方向的直線。膜面劃傷大部分來源于分子泵蓋板下沉或氣體分隔板下沉以及包網(wǎng)跳絲所致,，需要回氣處理,。玻璃面劃傷主要是由于底板或傳送輥間丁字板積膜太厚以及受熱變形引起,。可采用較重的未磨邊玻璃或鐵板在濺射室內(nèi)多次鏟渣來減輕,。另外輥道故障或產(chǎn)品下彎超標也會導致嚴重劃傷,，應(yīng)加強檢查。

3 陽光控制鍍膜玻璃的缺陷與分析
    陽光控制鍍膜玻璃是對波長350nm-1800nm的太陽光具有一定控制作用的鍍膜玻璃,，主要是在玻璃表面鍍金屬或金屬化合物膜,，使玻璃呈顯豐富多彩并具有新的光、熱性能,。與“ Low-E玻璃”相比膜層較厚并且較硬,，抗外界影響能力更強。
    耐研磨,、酸堿性能較差,。表現(xiàn)為經(jīng)研磨和酸堿試驗后不符合要求，主要原因為腔室真空度未達到要求,，膜層附著力差,、最外保護層太薄或靶材用錯未起到保護作用、靶材的純度達不到要求,、工藝氣體流量過大,。需要根據(jù)差距情況具體分析和排查。

4 結(jié)論
    在生產(chǎn)加工過程中,，任何一道環(huán)節(jié)都有可能會對鍍膜玻璃造成傷害,，另外，加工周期時間越長,，產(chǎn)生缺陷的幾率也就越大,。因此，對于鍍膜玻璃控制除了鍍膜工序外,，后續(xù)加工工序都要做好相應(yīng)的措施,，才能減少缺陷的產(chǎn)生。不論是陽光控制膜,，還是低輻射鍍膜玻璃，只要找到其缺陷形成的原因,，就能減少缺陷的產(chǎn)生,。